加工表面の品質として、表面あらさや形状精度などの幾何学的品質、加工変質層などの物理化学的・材質的品質があげられる。幾何学的品質の評価技術がオフラインからオンラインへと推移、定着していることとは対照的に、材質的品質の評価についてはほとんどされていないのが現状である。加工対象のサイズが小さくなるに従い、加工面の残留応力や結晶性が、機械部品、電子デバイス等の性能に大きく影響を与える因子となってきており、加工変質層の物理化学的な評価法の重要性が高まってきており、様々な産業分野への普及効果が期待され、広く産業界に貢献できるものと考えてた。このことから、加工変質層の評価法、そのための要素技術の開発を本研究の目的としました。

　加工面評価に関する研究動向・要望などについて、大学・公的研究所・メーカからの調査も行うととに、波長可変測定のための分光装置の改良・整備を進めた。複数の励起波長を選択できるようにシステムを試作しました。これによって波長によって吸収係数の値が異なることを利用し、深さ方向の評価が可能となりました。このシステムを切削加工、研削加工、光加工へ適応を試みました。

　研究成果の発表などを通して広く問い合わせがあり、加工面の評価は今後さらに重要性が増してくると思われる。今後はさらに、具体的な加工条件と関連付けての評価、それぞれの加工方法などの実際上の問題点への適応を試みたい。これによって、加工プロセスへのフィードバックが出来るようになることが期待される。